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有害氣體排放處理
一、有害氣體種類
(1)含酸類廢氣
主要來源于化學(xué)清洗工作中產(chǎn)生的揮發(fā)性氣體。
(2)含堿類廢氣
主要來源于化學(xué)清洗工作中產(chǎn)生的揮發(fā)性氣體。
(3)毒性廢氣
如含磷、硼、鎵、砷以及四氯化硅等的廢氣，主要來源于化學(xué)氣相沉積干蝕刻機(jī)、擴(kuò)散、離子植人等工序。
(4)工藝尾氣
如含H2、02等工藝尾氣。
(5)含有機(jī)溶劑廢氣等
生產(chǎn)過程中會使用多種有機(jī)物，如乙氧基全氟丁烷、全氟三丙基胺、全氟三丁基胺、全氟乙烷、丙二醇單甲基醚、異丙醇、乙醇、丁酮、丙酮、環(huán)已酮、乙醛等。這些有害物質(zhì)一則污染外環(huán)境的大氣，二則在進(jìn)人空調(diào)系統(tǒng)后，對生產(chǎn)進(jìn)一步造成危害，所以必須處理。
二、處理措施
對含酸、堿氣體可用濕式淋洗方法處理,可直接用水,或用其他化學(xué)溶液如氨
水、氫氧化鈉溶液進(jìn)行中和。對含砷(如三氯化砷)、磷(如三氯化磷)等的廢氣,可噴進(jìn)酸、堿溶液吸收,其中50%氫氧化鈉對PCls吸收效果好，但對AsClg的效果不理想。對含砷化氫(AsHs)的氣體可用飽和高錳酸鉀溶液噴淋吸收。對含四氯化硅(SiCL)的尾氣可直接淋水進(jìn)行水解。其他工藝尾氣如氮氣、氧氣、氨氣、硅烷等也可淋水吸收。也可用加熱(燃燒)兼水洗方法去除有害氣體。對于未處理的或反應(yīng)剩余的可燃性氣體如氫氣、硅甲烷，可利用加熱(燃燒)方式將其高溫氧化;若為有毒有腐蝕性或易爆氣體，可溶于水的，利用冷水洗滌冷卻。
還可用活性炭加添加劑的化學(xué)過濾器處理有害氣體。也可用化學(xué)吸附方式將有害氣體吸附至金屬罐中，通過壓力或出口濃度傳感器，檢測吸附劑是否飽和，定時更換吸附劑。
還可用沸石濃縮轉(zhuǎn)輪加直燃式焚化系統(tǒng)，使廢氣經(jīng)過一濃縮轉(zhuǎn)輪濃縮，濃縮倍率可提高10倍，再將高濃度的有機(jī)廢氣送人燃燒機(jī)燃燒后排放，因此燃燒機(jī)的大小可為原來的1/10。后段燃燒分解效率可達(dá)99%。通過轉(zhuǎn)輪機(jī)的氣體速度以不超過2m/s最佳。此種方式由于完全燃燒而無二次污染。