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浮游菌和沉降菌濃度
浮游菌濃度是指經(jīng)過(guò)對(duì)已采樣的培養(yǎng)皿或培養(yǎng)基條培養(yǎng)后得出的菌落數(shù)，代表單位體積空氣中的活菌數(shù)，以個(gè)/m3表示。沒(méi)有采到的或者沒(méi)有存活的細(xì)菌并未計(jì)人。
每一個(gè)菌落代表一個(gè)活細(xì)菌繁殖成的一個(gè)菌團(tuán)，用英文縮寫(xiě)符號(hào)表示就是lcfu。

 沉降菌濃度是指對(duì)經(jīng)過(guò)一定時(shí)間(如30min)沉積到培養(yǎng)皿上的細(xì)菌培養(yǎng)后生成的菌落數(shù)，一個(gè)菌落就是一個(gè)細(xì)菌繁殖成的菌團(tuán)，即1cfu。
菌濃參數(shù)主要在生物潔凈室使用。但細(xì)菌不僅對(duì)生物潔凈室而且也對(duì)半導(dǎo)體一類(lèi)工業(yè)潔凈室有重要影響。
不同的生物潔凈室要求的菌濃標(biāo)準(zhǔn)是不同的。過(guò)去國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)多用浮游菌濃度來(lái)表達(dá)。
1968年，兩位美國(guó)學(xué)者(Blwer和Wallace)觀察到空氣中含菌量為20~50個(gè)/ft3(707~1767個(gè)/m3)時(shí)，污染微粒的總病菌數(shù)中金黃色葡萄球菌(具有代表性的致病菌)比例可達(dá)到5%，此時(shí)極易引起敗血癥，美國(guó)傳染病中心的研究也證實(shí)了上述結(jié)果。
世界衛(wèi)生組織(WHO)推薦的醫(yī)院浮游菌濃度標(biāo)準(zhǔn)見(jiàn)表5-18。

 這里要特別指出的是，浮游菌濃度和沉降菌濃度一定不要互相換算，雖然理論上可以這樣做，但實(shí)際上會(huì)帶來(lái)一些麻煩，這在作者的<<空氣潔凈技術(shù)原理>>、<<醫(yī)院潔凈手術(shù)室建設(shè)實(shí)施指南>>中都有論述。合適的做法是用各自的標(biāo)準(zhǔn)來(lái)衡量。有害的微生物不僅對(duì)人有害，而且對(duì)工業(yè)制品也有很大的影響。對(duì)電子電氣儀器和制品，在線路板底板的樹(shù)脂與導(dǎo)體表面生長(zhǎng)的霉菌菌絲會(huì)降低絕緣性能。有害微生物還會(huì)腐蝕聚氯乙烯(PVC)的包覆電線、發(fā)電機(jī)線圈、電容器等，會(huì)使環(huán)氧樹(shù)脂、聚氨酯樹(shù)脂、聚酰胺樹(shù)脂老化。在光學(xué)鏡頭上生長(zhǎng)的灰綠曲霉菌會(huì)使玻璃受到腐蝕。細(xì)菌、霉菌能在化妝品中繁殖，對(duì)皮膚不利。黏結(jié)劑里也能生長(zhǎng)霉菌，大大影響?zhàn)そY(jié)性能。
如果以集成電路為例，微生物的影響明顯表現(xiàn)在以下幾方面。
1.異物影響
當(dāng)微生物以幾到數(shù)百微米存在于硅片表面時(shí)，影響如圖5-11所示。在n型片上有一層SiO2膜，通過(guò)帶有一定圖形的光刻膠膜，使用光刻板把SiO2膜一部分用干式腐蝕法腐蝕掉。在干式腐蝕工藝之前，如微生物像圖5-11(a)所示那樣，在SiO2膜表面某部分繁殖起來(lái)，則這一部分就起到了干式腐蝕時(shí)的掩膜版作用，留下其下的SiO2[見(jiàn)圖5-11(b)]。下道工序在掩膜版圖形區(qū)內(nèi)用離子注人法進(jìn)行硼擴(kuò)散時(shí)，如圖5-11(c)所示，在原有微生物處就不能形成p型區(qū)，還會(huì)使接觸式光刻機(jī)接觸不良，這就是異物導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量不良的原因。