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 管道系統(tǒng)安裝
6.3.1管道安裝前應(yīng)進(jìn)行以下準(zhǔn)備工作:
1配管下料時(shí)應(yīng)采用“等離子切割”或?qū)Ｓ们懈钿?、割管刀等工具，不?yīng)采用氧-乙炔焰切割，不得涂抹油脂或潤滑劑，
2管道切口應(yīng)與管軸線垂直，切口表面應(yīng)平整、無裂紋，應(yīng)去除毛刺。
3 在主管道上連接支管或部件時(shí)，宜用成品連接件。
4 普通不銹鋼管應(yīng)在工廠的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水沖洗干凈。
5 氧氣管道及附件，安裝前應(yīng)按相關(guān)規(guī)定方法進(jìn)行脫脂，脫脂應(yīng)在遠(yuǎn)離潔凈室的地點(diǎn)進(jìn)行，并做好操作人員的安全與環(huán)境保護(hù)工作。
6.3.2管道敷設(shè)應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，設(shè)計(jì)無要求時(shí)，應(yīng)敷設(shè)在人員不易碰撞的高度上，否則應(yīng)有防護(hù)設(shè)施。輸送干燥氣體的管道宜無坡度敷設(shè);真空吸引管道和含濕氣體管道的坡度宜大于或等于0.3%，坡向真空泵站或冷凝水收集器。
6.3.3不銹鋼管道應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《現(xiàn)場設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》GB50236的要求采用氬弧焊焊接連接，焊接時(shí)管內(nèi)應(yīng)充氬氣保護(hù)，直至焊接、吹掃、冷卻完畢后停止充氣。
6.3.4 有接地要求的管道，法蘭間必須接有多芯導(dǎo)電跨線。
6.3.5 穿過圍護(hù)結(jié)構(gòu)進(jìn)入潔凈室的氣體管道，應(yīng)設(shè)套管，套管內(nèi)管材不應(yīng)有焊縫與接頭，管材與套管間應(yīng)用不燃材料填充并密封，套管兩端應(yīng)有不銹鋼盤型封蓋。
6.3.6 高純氣體管道的安裝，除應(yīng)符合以上有關(guān)條款規(guī)定外，還應(yīng)符合下列規(guī)定:
1 經(jīng)脫脂或拋光處理的不銹鋼管，安裝前應(yīng)采取保護(hù)措施，防止二次污染。
2 管道預(yù)制、分段組裝作業(yè)，不得在露天環(huán)境中進(jìn)行。3 分段預(yù)制或組裝的管段完成后兩端應(yīng)用膜、板等封閉。
4 高純氣體管道為無縫銅管時(shí)，應(yīng)采用承插式硬釬焊焊接、焊接紫銅管時(shí)應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《磷銅釬料》GB/T 6418 要求選用磷銅釬料;焊接紫銅與黃銅管時(shí)宜按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《銀基釘料》GB10046 要求，選用HL304含銀量為50%的銀基釬料管內(nèi)應(yīng)通入與工藝氣體同等純度的氮?dú)庾鳛楸Ｗo(hù)氣體并吹除，不宜用沾水紡織材料擦拭。
5 高純氣體管道如無法避免用螺紋連接時(shí)，宜在銅與銅銅與銅合金附件外螺紋上均勻掛錫，非氧氣管道宜采用聚四氟乙烯帶纏繞管口螺紋。
6 不銹鋼管、銅管應(yīng)冷彎，彎管半徑宜大于等于5倍管材外徑;管壁不得起皺。
7 高純氣體管道為聚偏二氟乙烯(PVDF)管時(shí)，應(yīng)采用自動或半自動熱焊機(jī)焊接連接。兩管對接面錯(cuò)邊不應(yīng)大于1mm。不同壁厚的管子不得對焊，熱焊接連接時(shí)應(yīng)采取保護(hù)環(huán)境和人員安全的措施。
8管道系統(tǒng)支架間距應(yīng)小于普通氣體管道的支架間距，并應(yīng)采用吊架、彈簧支架、柔性支撐等固定方式。應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》GB50235的要求，在不銹鋼管與碳鋼支架之間墊人不銹鋼或氯離子含量不超過50x10-6(50ppm)的非金屬墊層。
9 潔凈室內(nèi)高純氣體與高干燥度氣體管道應(yīng)為無坡度敷設(shè)，不考慮排水功能，終端應(yīng)設(shè)放氣管。
6.3.7 醫(yī)用氣體管道安裝后應(yīng)加色標(biāo)。不同氣體管道上的接口應(yīng)專用，不得通用。