在20世紀(jì)20年代，美國航空業(yè)的陀螺儀制造過程中提出了生產(chǎn)環(huán)境的凈化要求。在制造車間、實(shí)驗(yàn)室建立了“控制裝配區(qū)”，供給一定量的過濾后的空氣。在朝鮮戰(zhàn)爭(zhēng)中，美國找到了電子儀器出故障的主要原因是灰塵作怪，從而促成了空氣凈化技術(shù)的起步。
1957年，前蘇聯(lián)顆人造衛(wèi)星的升空，刺激了美國加速發(fā)展宇航事業(yè)，制定了阿波羅登月計(jì)劃，其電子控制儀器和精密機(jī)械加工環(huán)境均要求凈化，因而促進(jìn)了凈化技術(shù)的大發(fā)展，建造了百級(jí)潔凈室，誔生了個(gè)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。
1970年，1K位的集成電路開始大規(guī)模生產(chǎn)，使凈化技術(shù)的發(fā)展突飛猛進(jìn)。20世紀(jì)80年代，大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)，使空氣凈化技術(shù)有了進(jìn)一步的發(fā)展，集成電路的更細(xì)光刻線寬達(dá)到2~3um。在70年代末和80年代初，美國、日本研制出0.1um級(jí)空氣過濾器，為潔凈度的提高創(chuàng)造了條件。
在20世紀(jì)90年代，超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)有了新的進(jìn)展，更細(xì)光刻線寬由80年代的微米級(jí)發(fā)展到亞微米級(jí)。到20世紀(jì)末，要求達(dá)到0.1~0.2um，集成度達(dá)到1kM。集成電路的集成度越高，要求的光刻線寬就越小，則要求控制的塵粒粒徑就越小，塵粒數(shù)量也越少。如今，要求0.1um10級(jí)的潔凈度已經(jīng)很普遍，將來要求的潔凈度會(huì)更高，潔凈室的應(yīng)用領(lǐng)域會(huì)更加寬廣。
在2001年中國科協(xié)學(xué)術(shù)年會(huì)上，楊振寧教授指出，在今后三四十年，三個(gè)領(lǐng)域?qū)⒊蔀榭萍及l(fā)展的“火車頭”：① 芯片的廣泛應(yīng)用。 ②醫(yī)學(xué)與藥物的高速發(fā)展。③ 生物工程。芯片需在工業(yè)潔凈室中生產(chǎn)，藥品需在生物潔凈室中生產(chǎn)，醫(yī)學(xué)研究、生物工程都離不開生物潔凈室。對(duì)于有生物學(xué)危險(xiǎn)的操作，需要在生物安全潔凈室中進(jìn)行。工業(yè)潔凈室、生物潔凈室及生物安全潔凈室，都是應(yīng)用空氣凈化技術(shù)創(chuàng)造的特殊的微環(huán)境。
電子產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，將推動(dòng)中國凈化技術(shù)向高水平發(fā)展，而醫(yī)學(xué)與藥物的快速發(fā)展，必將使空氣凈化技術(shù)的應(yīng)用更加廣泛。中國在制藥行業(yè)實(shí)施GMP（Good Manufacturing Prac-tice）認(rèn)證制度以來，生物潔凈室的興建像雨后春筍，給凈化技術(shù)產(chǎn)業(yè)帶來的繁榮。近年來，三級(jí)甲等醫(yī)院紛紛建造潔凈手術(shù)部，使術(shù)后感染率降低10倍以上，從而可以少用或不用抗生素，減輕了抗生素對(duì)患者造成的傷害。這也將進(jìn)一步拓寬凈化技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域。
2003年SARS病素肆虐，使人們對(duì)空氣傳播病毒的危險(xiǎn)性有了深刻的認(rèn)識(shí)。更值得反思的就是醫(yī)院建筑，不僅要注重建筑外形與使用功能，更應(yīng)該關(guān)注建筑內(nèi)的空氣品質(zhì)。據(jù)了解，人吃進(jìn)1億個(gè)兔熱桿菌才感謝染，若吸入10~50個(gè)就發(fā)熱。這給只重視接觸感染而輕視氣溶膠傳播的呼吸道感染的醫(yī)護(hù)人員敲響了警鐘。因?yàn)闅馊苣z傳播更具有爆發(fā)性、低感染劑量和大范圍的特點(diǎn)，危險(xiǎn)性極大。因此，現(xiàn)代醫(yī)院建筑應(yīng)有空氣凈化設(shè)備，才能保證醫(yī)患人員的安全。應(yīng)裝配空氣凈化系統(tǒng)的醫(yī)院建筑有：潔凈手術(shù)部、生物治療實(shí)驗(yàn)室、傳染病人隔離室、營養(yǎng)液配制、制劑、無菌物品供應(yīng)等。這將給凈化技術(shù)的應(yīng)用帶來新的機(jī)遇。
在21世紀(jì)，生物工程對(duì)人類的直接影響將超過芯片，而其發(fā)展離不開空氣凈化技術(shù)。如生物工程中有相當(dāng)一部分操作存在潛在危險(xiǎn)性，特別是存在可能具有未知毒性的微生物新種傳播生物學(xué)危險(xiǎn)。這就需要提供具有生物安全的建筑微環(huán)境，可利用空氣凈化技術(shù)、生物安全知識(shí)來建造生物安全潔凈室來控制這種具有生物學(xué)危險(xiǎn)的污染的傳播。